Une solution de codage de précision pour les environnements exigeants

9 juin, 2026

À l’occasion d’Eurosatory, le grand événement mondial de la défense, de la sécurité et de l’armement qui se déroulera du 15 au 19 juin prochain au parc des expositions de Villepinte, Renishaw exposera plusieurs solutions (comme le détaille dans une interview vidéo Massimiliano Pindo, directeur des ventes et du marketing), à commencer par des technologies de codeurs innovantes.

De nouvelles fonctionnalités permettent d’accélérer la révision des simulations, d’améliorer la communication avec les opérateurs

Dédié à l’inspection des wafers, le codeur laser à fibre optique RLE de Renishaw utilise l’interférométrie pour fournir un retour de position haute résolution. La tête d’interféromètre différentiel (RLD10) a été conçue de manière à être montée directement sur la paroi externe de la chambre de traitement et dispose d’un schéma optique unique permettant d’obtenir une faible erreur SDE et une grande précision, avec des résolutions de sortie allant jusqu’à 38,6 pm.

De leur côté, les codeurs TONiC UHV sont adaptés aux conditions UHV jusqu’à 10-¹⁰ Torr et offrent des résolutions pouvant atteindre 1 nm avec une faible erreur cyclique (erreur sous-divisionnaire), ce qui permet d’obtenir des performances de contrôle de mouvement supérieures. Les codeurs TONiC UHV et leurs accessoires de Renishaw sont fabriqués à partir de matériaux et d’adhésifs compatibles avec le vide afin de garantir de faibles taux de dégazage, ce qui les rend adaptés à de nombreuses applications dans le domaine des semi-conducteurs.

RESOLUTE sur l’échelle rotative RESA

Platine à vide pour l’inspection de plaquettes de semi-conducteurs équipée d’un système de codeur laser Renishaw RLE – CMYK

Des solutions de codeurs pour la manipulation de wafers

RESOLUTE UHV applique la technologie des codeurs absolus aux applications en ultra-vide jusqu’à 10-¹⁰ Torr, permettant ainsi aux clients d’augmenter leur rendement, de réduire les risques de dommages et d’améliorer la fiabilité. Ces codeurs offrent ainsi des performances métrologiques exceptionnelles dans les applications UHV, avec des résolutions allant jusqu’à 1 nm sur une large plage de vitesses.

Les codeurs TONiC UHV sont adaptés aux conditions UHV et utilisent une optique de filtrage ainsi qu’un traitement dynamique du signal pour offrir une faible erreur sous-divisionnelle, ce qui permet un contrôle de mouvement de haute précision. Les gammes de codeurs TONiC UHV et RESOLUTE UHV proposent également une variante à sécurité fonctionnelle pour les systèmes nécessitant une certification de sécurité fonctionnelle selon les niveaux SiL2 et PLd.

Enfin, les codeurs RESOLUTE UHV sont adaptés à une utilisation à l’intérieur d’enceintes UHV. La gamme de codeurs RESOLUTE UHV de Renishaw est destinée aux applications hautes performances, aux semi-conducteurs et aux applications scientifiques.

Quelques bonnes pratiques à adopter...

Lors du choix d’un codeur pour des applications dans le domaine des semi-conducteurs et des sciences, bon nombre des critères habituels s’appliquent : le processus nécessite-t-il un retour de position absolu ou incrémental ? Comment le codeur s’interfacera-t-il avec le reste du système de mouvement ? Quelles sont les exigences métrologiques du processus ? Existe-t-il des contraintes thermiques et environnementales susceptibles d’influencer le choix du codeur ? Comment le système de codeur sera-t-il installé et mis en service ?

Un soutien solide en matière d’applications et d’assistance à la clientèle à l’échelle mondiale est donc essentiel pour aider les clients à répondre à ces questions. « C’est la raison pour laquelle les clients de Renishaw apprécient de travailler avec nous et d’utiliser nos produits, souligne-t-on au sein du fabricant. En accompagnant ses clients grâce à une expertise technique locale et à des chaînes d’approvisionnement réactives et flexibles, Renishaw contribue à réduire les coûts liés au cycle de vie de ses codeurs ».